配资炒股开户平台 北方华创申请金属层刻蚀方法及半导体工艺设备专利, 能够解决相关技术中的终点检测方法难以捕捉到刻蚀终点的问题

金融界2025年4月19日消息配资炒股开户平台，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“金属层刻蚀方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN119852177A，申请日期为2023年10月。

专利摘要显示，本申请公开了一种金属层刻蚀方法及半导体工艺设备，涉及半导体工艺及装备领域。一种金属层刻蚀方法包括：执行第一刻蚀步，向反应腔室内通入第一刻蚀气体，用以刻蚀所述金属层，所述金属层下方设置有氮化物层，且所述氮化物层与所述金属层相接触；检测CN光谱信号的光谱强度，当所述光谱强度的增速加快时，执行第二刻蚀步，向所述反应腔室内通入第二刻蚀气体，用以刻蚀残余的所述金属层及所述氮化物层，所述第二刻蚀气体中含有C元素，所述C元素用于与所述氮化物层中的N元素形成CN化学基团。本申请能够解决相关技术中的终点检测方法难以捕捉到刻蚀终点的问题。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1018次，财产线索方面有商标信息45条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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